发明名称 DEVICES AND METHODS FOR READING IDENTIFICATION MARKS ON SEMICONDUCTOR WAFERS.
摘要 Procédés et appareil de lecture par machine de marques d'identification incisées sur des tranches de semi-conducteurs. L'appareil préféré permet de visualiser la marque soit sous la forme d'une image sombre sur un fond clair (lequel est en lui-même nouveau) soit sous la forme d'une image claire sur un fond sombre. A l'aide d'une caméra de télévision (7) et d'un lecteur optique de caractères, le procédé de visualisation peut être changé automatiquement si un degré de confiance préétabli n'est pas atteint, et produit un signal si aucun des procédés (ou la combinaison des deux procédés) ne donne un résultat satisfaisant. Le procédé est particulièrement utile dans la lecture successive des marques d'identification se trouvant sur un certain nombre de tranches (41, 42, 43...) empilées dans une cassette (4). L'appareil préféré permettant ladite lecture comprend un support de tranches (6) pouvant être poussé vers le haut à partir du dessous de la cassette (4), de sorte que la tranche à identifier repose sur un rebord (63) du support, et la tranche adjacente repose sur un autre rebord supérieur (64) situé sur le support, exposant et plaçant ainsi avec précision la marque d'identification sur la première tranche.
申请公布号 EP0510108(A1) 申请公布日期 1992.10.28
申请号 EP19910904111 申请日期 1991.01.09
申请人 HINE DESIGN INC. 发明人 HINE, DEREK, L.;KROLAK, MICHAEL
分类号 G06K7/10;G06K9/20;G06T1/00;H01L21/02 主分类号 G06K7/10
代理机构 代理人
主权项
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