| 发明名称 |
MEASURING DEVICE USING LIGHT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04318406(A) |
申请公布日期 |
1992.11.10 |
| 申请号 |
JP19910086542 |
申请日期 |
1991.04.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MATSUOKA GENYA;OSHIDA YOSHITADA;IWASAKI TERUO;KANEKO NORIO |
| 分类号 |
G01B11/00;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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