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发明名称
METHOD FOR FORMING CRYSTAL
摘要
申请公布号
AU631117(B2)
申请公布日期
1992.11.19
申请号
AU19890031756
申请日期
1989.03.28
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
KENJI YAMAGATA
分类号
C30B25/18;C30B31/22;H01L21/20;H01L21/84
主分类号
C30B25/18
代理机构
代理人
主权项
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