LATTICE INTERFERENCE TYPE DISPLACEMENT DETECTOR,申请号JP19910230908-传众专利搜索

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发明名称	LATTICE INTERFERENCE TYPE DISPLACEMENT DETECTOR
摘要
申请公布号	JPH0545180(A)	申请公布日期	1993.02.23
申请号	JP19910230908	申请日期	1991.08.19
申请人	MITSUTOYO CORP	发明人	SATOU SOUICHI;TOMITANI MASAKI;ITABASHI TATSUO
分类号	G01D5/38;G01B11/00	主分类号	G01D5/38
代理机构		代理人
主权项
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