| 发明名称 |
MEASURING METHOD FOR CONTACT AREA OF CONTACT HOLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0541440(A) |
申请公布日期 |
1993.02.19 |
| 申请号 |
JP19910017767 |
申请日期 |
1991.02.08 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK |
发明人 |
MIHASHI TAKESHI |
| 分类号 |
G01B7/32;H01L21/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B7/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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