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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0590195(A) 申请公布日期 1993.04.09
申请号 JP19910274837 申请日期 1991.09.25
申请人 NEC CORP 发明人 KAWAGUCHI MASATERU
分类号 H01L21/205;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L29/78 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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