发明名称 FORMING METHOD OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH0594991(A) 申请公布日期 1993.04.16
申请号 JP19910253285 申请日期 1991.10.01
申请人 NEC CORP 发明人 SUGAI KAZUMI;MORISHIGE YUKIO
分类号 H01L21/268;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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