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发明名称
FORMING METHOD OF WIRING
摘要
申请公布号
JPH0594991(A)
申请公布日期
1993.04.16
申请号
JP19910253285
申请日期
1991.10.01
申请人
NEC CORP
发明人
SUGAI KAZUMI;MORISHIGE YUKIO
分类号
H01L21/268;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52
主分类号
H01L21/268
代理机构
代理人
主权项
地址
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