发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR GRADE MULTI-CRYSTAL SILICON
摘要
申请公布号 JPH05139891(A) 申请公布日期 1993.06.08
申请号 JP19910326976 申请日期 1991.11.15
申请人 KOUJIYUNDO SILICON KK 发明人 ITO HIDEO;KITAGAWA TERUHISA;IGAKI KAZUTO
分类号 C01B33/02;C30B29/06 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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