| 发明名称 |
MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWING METHOD AND UNIT THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05139881(A) |
申请公布日期 |
1993.06.08 |
| 申请号 |
JP19910302081 |
申请日期 |
1991.11.18 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
YAMADA TAKASHI |
| 分类号 |
C23C14/32;C30B23/08;H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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