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发明名称 METHOD OF FABRICATING RESISTIVE CONDUCTIVE PATTERNS ON ALUMINUM NITRIDE SUBSTRATES
摘要
申请公布号 US5221639(A) 申请公布日期 1993.06.22
申请号 US19910811272 申请日期 1991.10.20
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 WHITE, JERRY L.
分类号 H01L23/15;H01L21/48;H01L21/70;H01L23/498;H01L23/66;H05K1/03;H05K1/16;H05K3/38 主分类号 H01L23/15
代理机构 代理人
主权项
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