| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR GROWTH METHOD AND CHEMICAL VAPOR GROWTH PROCESSING SYSTEM THEREFOR AND CHEMICAL VAPOR GROWTH APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05166734(A) |
申请公布日期 |
1993.07.02 |
| 申请号 |
JP19910330328 |
申请日期 |
1991.12.13 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KAWADA YOSHINOBU;MINAMI TOSHIHIKO |
| 分类号 |
C30B25/08;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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