| 发明名称 |
METHOD FOR PENETRATION RATE INSPECTION OF PERIODIC PATTERN AND UNEVENNESS QUANTIFICATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05196570(A) |
申请公布日期 |
1993.08.06 |
| 申请号 |
JP19920009675 |
申请日期 |
1992.01.23 |
| 申请人 |
DAINIPPON PRINTING CO LTD |
发明人 |
NAKANISHI MINORU;WATANABE KAZUO |
| 分类号 |
G01N21/17;G01M11/00;G01N21/59;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;H01J9/14;H01J9/42;H01J29/07 |
主分类号 |
G01N21/17 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
