发明名称 MANUFACTURE OF FLAT SURFACE CIRCUIT MODULE
摘要
申请公布号 JPH05218110(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920030517 申请日期 1992.02.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YABE NORIO
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
地址