| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05217942(A) |
申请公布日期 |
1993.08.27 |
| 申请号 |
JP19920022432 |
申请日期 |
1992.02.07 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
YAMAZAKI OSAMU;HATTORI HIROMI;NAKAMURA KAZUYO;FUKUSHIMA NOBUNORI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/283;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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