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经营范围
发明名称
MANUFACTURING APPARATUS OF MULTILAYER EPITAXIAL WAFER
摘要
申请公布号
JPH05217925(A)
申请公布日期
1993.08.27
申请号
JP19920041896
申请日期
1992.01.31
申请人
NISSHIN STEEL CO LTD
发明人
KURATA KAZUHIRO;NAKAMURA HAJIME;TOMITA YUSHI
分类号
C30B19/06;H01L21/208
主分类号
C30B19/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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