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发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 US5243191(A) 申请公布日期 1993.09.07
申请号 US19910797028 申请日期 1991.11.25
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KOBAYASHI, HIROYUKI
分类号 H01J37/22;H01J37/04;H01J37/26 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
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