发明名称 Verfahren zur Raffinierung von Stickstofftrifluoridgas.
摘要
申请公布号 DE68907366(T2) 申请公布日期 1993.12.02
申请号 DE19896007366T 申请日期 1989.04.06
申请人 MITSUI TOATSU CHEMICALS, INC., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HARADA, ISAO, SHIMONOSEKI-SHI YAMAGUCHI-KEN, JP;HOKONOHARA, HISASHI, SHIMONOSEKI-SHI YAMAGUCHI-KEN, JP;YAMAGUTI, TOSHIAKI, SHIMONOSEKI-SHI YAMAGUCHI-KEN, JP
分类号 C01B21/083;(IPC1-7):C01B21/083 主分类号 C01B21/083
代理机构 代理人
主权项
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