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发明名称
PHOTODEFIZIERBARE DIELEKTRIKA-ZWISCHENSCHICHT.
摘要
申请公布号
DE68908558(T2)
申请公布日期
1993.12.02
申请号
DE1989608558T
申请日期
1989.06.23
申请人
ALLIED-SIGNAL INC., MORRISTOWN, N.J., US
发明人
ZUPANCIC, JOSEPH, J., BENSENVILLE, IL 60106, US
分类号
G03F7/027;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/72
主分类号
G03F7/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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