发明名称 |
AUTOMATIC ADJUSTMENT MECHANISM FOR SPEED FEEDBACK GAIN SWITCHING TIMING FOR POSITIONING STAGE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05324087(A) |
申请公布日期 |
1993.12.07 |
申请号 |
JP19920132769 |
申请日期 |
1992.05.25 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MITSUMOTO YUTAKA |
分类号 |
G05B13/02;G05D3/12;(IPC1-7):G05D3/12 |
主分类号 |
G05B13/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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