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发明名称 CLEANING EQUIPMENT FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0639355(A) 申请公布日期 1994.02.15
申请号 JP19920195613 申请日期 1992.07.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKUMA YUJI;TAKEUCHI MITSUO
分类号 B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/04 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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