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经营范围
发明名称
Fabrication of thin film devices
摘要
申请公布号
US3360398(A)
申请公布日期
1967.12.26
申请号
US19650438935
申请日期
1965.03.11
申请人
UNITED AIRCRAFT CORPORATION
发明人
GARIBOTTI DOMENICK J.
分类号
C23F4/02;H01L27/01
主分类号
C23F4/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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