发明名称 Fabrication of thin film devices
摘要
申请公布号 US3360398(A) 申请公布日期 1967.12.26
申请号 US19650438935 申请日期 1965.03.11
申请人 UNITED AIRCRAFT CORPORATION 发明人 GARIBOTTI DOMENICK J.
分类号 C23F4/02;H01L27/01 主分类号 C23F4/02
代理机构 代理人
主权项
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