| 摘要 |
1. Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, включающий конденсацию хлорсиланов, отличающийся тем, что после конденсации хлорсиланы разделяют на два потока, один поток, сконденсированный при температуре минус 95-105°С, направляют на получение поликристаллического кремния, а второй поток, сконденсированный при температуре минус 10-12°С, направляют в емкость, барботируют парогазовую смесь, отходящую от установок водородного восстановления кремния через слой жидких хлорсиланов в емкости, температуру жидкой фазы поддерживают в пределах минус 5 ÷ плюс 5°С.2. Устройство для вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, содержащее корпус со сферическими боковыми стенками, патрубками для приема и выдачи конденсата и вывода парогазовой смеси, отличающееся тем, что оно дополнительно снабжается патрубком перелива конденсата, установленным на высоте 2/3 объема корпуса и газораспределительным устройством, установленным на дне емкости, имеющим патрубок для подвода парогазовой смеси, снизу газораспределительного устройства выполнены отверстия, причем проходное сечение отверстий газораспределительного устройства равно проходному сечению патрубка подачи парогазовой смеси. |
