发明名称 VAPORIZER AND APPARATUS FOR VAPORIZING AND SUPPLYING
摘要
申请公布号 KR100865423(B1) 申请公布日期 2008.10.24
申请号 KR20010073719 申请日期 2001.11.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/448 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址