| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE SUIVI D'UN TRAITEMENT THERMIQUE D'UN SUBSTRAT MICROTECHNOLOGIQUE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2902926(B1) |
申请公布日期 |
2008.10.24 |
| 申请号 |
FR20060005620 |
申请日期 |
2006.06.22 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL |
发明人 |
SANCHEZ LOIC |
| 分类号 |
H01L21/66;B81C99/00;H01L21/00;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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