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经营范围
发明名称
Method for film deposition
摘要
申请公布号
KR100864937(B1)
申请公布日期
2008.10.23
申请号
KR20020009200
申请日期
2002.02.21
申请人
发明人
分类号
H05B33/10;C23C14/02;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/40;H01L51/50
主分类号
H05B33/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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