Verfahren zum Aufbringen einer verschleißfesten Beschichtung

摘要

Beim Aufbringen einer tribologischen Schicht auf ein Bauteil, wobei die Schicht wenigstens eine Oberschicht (4) mit einem amorphen Kohlenstoff oder Kohlenwasserstoff enthält, ist gemäß der Erfindung zur Vereinfachung des Beschichtungsverfahrens vorgesehen, dass eine Unterschicht (13) und eine von dieser verschiedene Oberschicht (4) nacheinander durch Anwendung eines Gleichstrom (DC)-Plasma-unterstützten CVD-Verfahrens gegebenenfalls unter Abänderung der Prozessparameter und unter Verwendung unterschiedlicher Precursoren aufgebracht werden.