发明名称 VERBINDUNG ZUR BILDUNG EINER SELBSTORGANISIERENDEN MONOLAGE, SCHICHTSTRUKTUR, HALBLEITERBAUELEMENT MIT EINER SCHICHTSTRUKTUR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHTSTRUKTUR
摘要
申请公布号 DE502004008037(D1) 申请公布日期 2008.10.23
申请号 DE20045008037T 申请日期 2004.06.18
申请人 QIMONDA AG 发明人 SCHMID, GUENTER;HALIK, MARCUS;KLAUK, HAGEN;ZSCHIESCHANG, UTE;EFFENBERGER, FRANZ;SCHUETZ, MARKUS;MAISCH, STEFFEN;SEIFRITZ, STEFFEN;BUCKEL, FRANK
分类号 H01L21/00;B05D1/18;C03C17/30;C03C17/38;C07F7/12;C07F7/18;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/16;H01L51/30 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址