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发明名称 Verfahren zur Erzeugung verbesserter heteroepitaktischer gewachsener Siliziumkarbidschichten auf Siliziumsubstraten
摘要
申请公布号 DE10344986(B4) 申请公布日期 2008.10.23
申请号 DE20031044986 申请日期 2003.09.27
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM DRESDEN - ROSSENDORF E.V.;UNIVERSITE CLAUDE BERNARD - LYON 1 发明人 SKORUPA, WOLFGANG;PANKNIN, DIETER;FERRO, GABRIEL;GEBEL, THORALF;YANKOV, ROSSEN
分类号 C30B23/06;C30B29/16;C30B29/36;C30B29/60;C30B33/00;H01L21/04;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/268;H01L21/324;H01L21/477 主分类号 C30B23/06
代理机构 代理人
主权项
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