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发明名称 chuck using nano-scale cilium, fabricating method and chucking/de-chucking method for the same
摘要
申请公布号 KR100864732(B1) 申请公布日期 2008.10.23
申请号 KR20070137933 申请日期 2007.12.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/687;D06C11/00 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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