发明名称 |
Vorrichtung zum Schmelzen von reinem Silicium und anderen reinen Halbleiterstoffen |
摘要 |
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申请公布号 |
DE1261108(B) |
申请公布日期 |
1968.02.15 |
申请号 |
DE1957S071756 |
申请日期 |
1957.04.15 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
RUMMEL DR. THEODOR |
分类号 |
C01B33/02;C23C16/08;C30B15/10;C30B35/00;H01L21/00 |
主分类号 |
C01B33/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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