发明名称 SYMMETRICAL SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 CA779275(A) 申请公布日期 1968.02.27
申请号 CAD779275 申请日期
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ERIC KAY
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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