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发明名称
Auslenkbares mikromechanisches System sowie dessen Verwendung
摘要
申请公布号
DE112006003699(A5)
申请公布日期
2008.10.23
申请号
DE200611003699T
申请日期
2006.02.03
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
CONRAD, HOLGER;KLOSE, THOMAS;SANDNER, THILO
分类号
G01L1/18;G01D5/16;G01L9/00
主分类号
G01L1/18
代理机构
代理人
主权项
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