发明名称 基板材料的传送带
摘要 本发明的课题在于提供一种基板材料的传送带,其中,第1,防止基板材料的摇晃、S形摆动,避免运送事故,实现稳定的水平运送;第2,防止基板材料的滑动,由此实现稳定的水平运送;第3,上述方面在不对基板材料造成擦伤、伤痕、损伤等的损害的情况下实现。该传送带(3)用于基板材料(A)的表面处理装置(1)。表面处理装置(1)包括处理液(B)的化学液槽(5);在该化学液槽(5)内,于液中运送基板材料(A)的传送带(3);在液中对基板材料(A)喷射处理液(B)的喷嘴。传送带(3)不与基板材料(A)的电路形成面(D)接触,排列设置有沿上下夹持左右两侧端面(E)而运送的端面运送辊(8,9),该端面运送辊(8,9)采用直进辊(R1)与斜辊(R2),并且在其外周面上进行防滑加工。
申请公布号 CN101288863A 申请公布日期 2008.10.22
申请号 CN200810089789.7 申请日期 2008.04.10
申请人 东京化工机株式会社 发明人 新山喜三郎;绿川昌弘
分类号 B05B9/03(2006.01);H05K3/00(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/677(2006.01);B65H5/06(2006.01);C23F1/08(2006.01);C23G3/00(2006.01);G03D3/00(2006.01) 主分类号 B05B9/03(2006.01)
代理机构 北京三幸商标专利事务所 代理人 刘激扬
主权项 1.一种基板材料的传送带,其为基板材料的表面处理装置的传送带,该表面处理装置包括由处理液充满的化学液槽;在该化学液槽内,于液中运送基板材料的传送带;在该化学液槽内,在液中对基板材料喷射处理液的喷嘴;该传送带不与基板材料的电路形成面接触,沿上下夹持而运送仅仅基板材料的左右两侧端面的端面运送辊沿运送方向排列设置;该端面运送辊组合地采用朝向运送方向的直进辊与相对运送方向而稍向外侧的斜辊。
地址 日本国东京都