以“一次多个”方式构建焊线探针卡的方法

摘要

提供了用于晶片测试探测的弹性弹簧触件，这种制得的弹簧触件可以具有非常精细的节距间隔，而且精确地定位于支承基片之上。所述弹性接触结构适于与空间变换器基片上的电路引线接合。所述具有连接的弹簧触件的支承基片可以大量单元一起制造，然后切割开来并进行测试，然后再与空间变换器基片连接，以提高产率。所述弹性弹簧触件是使用光刻法形成的，从而在释放层上形成触件，然后用环氧树脂将该弹簧触件连接到支承基片，然后除去释放层。所述支承基片可以是透明的，使得触件可以与下面的被测光学部件相对准。所述支承基片可包括位于弹簧触件下的接地面，以提高阻抗匹配。

主权项

1.一种设备，该设备包括通过粘合剂材料与支承基片相连接的弹簧接触元件。