发明名称
摘要
申请公布号 JP4170439(B2) 申请公布日期 2008.10.22
申请号 JP19980134524 申请日期 1998.04.28
申请人 发明人
分类号 C23C14/35;H01F7/20;H01F41/18;H01L21/203;H01L43/12 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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