一种微纳深沟槽结构测量装置

摘要

本实用新型公开了一种微纳深沟槽结构测量装置，包括红外光源、干涉仪、探测光路、样品台、接收光路、探测器、放大器、滤波器、模数转换器和计算机；红外光源、干涉仪和探测光路依次位于同一光路上，探测光路的出射光与样品台的上表面法线之间的夹角为45°，接收光路与样品台上表面法线之间的夹角为45°，探测器位于接收光路的出光口，探测器、放大器和滤波器依次相连，滤波器通过模数转换器与计算机连接。本实用新型装置，可实现动态随机存储器(DRAM)上电容器典型深沟槽结构的测量，具有非接触性，非破坏性和低成本的特点。

主权项

1、一种微纳深沟槽结构测量装置，其特征在于：该装置包括红外光源(21)、干涉仪(22)、探测光路(23)、样品台(24)、接收光路(25)、探测器(26)、放大器(27)、滤波器(28)、模数转换器(29)和计算机(30)；红外光源(21)、干涉仪(22)和探测光路(23)依次位于同一光路上，探测光路(23)的出射光与样品台(24)的上表面法线之间的夹角为45°，接收光路(25)与样品台(24)上表面法线之间的夹角为45°，探测器(26)位于接收光路(25)的出光口，探测器(26)、放大器(27)和滤波器(28)依次相连，滤波器(28)通过模数转换器(29)与计算机(30)连接；红外光源(21)出射光经过干涉仪(22)进入探测光路(23)，经探测光路(23)校准后，入射到位于样品台(24)上的样品表面，然后从样品上反射的带有沟槽结构信息的光束进入接收光路(25)，接收光路(25)将发散光束变成平行光束出射至探测器(26)；探测器(26)将光信号转换为电信号，再经放大器(27)放大后送入滤波器(28)，滤波器(28)进行滤波，去除杂散信号，再经过模数转换器(29)送入计算机(30)进行处理。