发明名称
摘要
申请公布号 JP4169383(B2) 申请公布日期 2008.10.22
申请号 JP19980023734 申请日期 1998.01.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/285;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/50;C23C16/56;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/8242 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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