喷墨记录头及其制造方法

摘要

本发明提供一种具有优异的排放能力的喷墨记录头及其制造方法，使用最小的需要量的耐墨水保护膜覆盖墨水供应孔的侧壁。其中通过蚀刻基片的暴露部分，涂覆基片的蚀刻部分，并且交替地重复蚀刻和涂覆步骤，直至蚀刻的部分变成与液体流动通路相连接为止，从而形成墨水供应孔；并且对于凹陷部分的深度a和相邻凸起部分的距离b，当深度a是1μm或者更小，并且距离b是5μm或者更小的时候，a和b满足如下关系：b/a≥1.7。

主权项

1.一种喷墨记录头，包括：排放口，用于排放墨水；排放能量产生元件，用于产生用来从排放口排放墨水的能量；液体流动通路，与排放能量产生元件相对应地设置，并与排放口相通；以及墨水供应孔，用于给液体流动通路提供墨水，并且，墨水供应孔的侧壁包括具有凸起和凹陷部分的重复图案，其中，凹陷部分的深度是a，相邻凸起之间的距离是b；并且深度a是1μm或者更小，距离b是5μm或者更小，a和b满足如下关系：b/a≥1.7。