发明名称 光学玻璃粗糙度实时检测装置和方法
摘要 一种用于光学抛光机的光学玻璃粗糙度实时检测装置和方法,本发明是利用激光的表面散射原理,在光学玻璃被加工的同时,不离开工作台的情况下,通过调整激光光源发出的光束与玻璃待测表面的入射角大于或等于全反射角,将散射光同反射光自然分开,分别测量这两束光的强度,并且转化为电流强度,计算这两束光激发产生的电流强度之比,以精确的计算出待测表面的表面粗糙度。本发明是一种无损检测措施,它能够实现环抛机实时地进行无损监测,检测不伤害任何工件,保证具有较高检测精度。
申请公布号 CN100427880C 申请公布日期 2008.10.22
申请号 CN200610117160.X 申请日期 2006.10.16
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 程骅;沈卫星
分类号 G01B11/30(2006.01) 主分类号 G01B11/30(2006.01)
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 张泽纯
主权项 1、一种用于光学抛光机的光学玻璃粗糙度的实时检测装置,包括一台抛光机(3)上面放置的待加工的光学玻璃,其特征在于包括:一个导轨横梁(10)平行于地面固定在一支架(11)上,该导轨横梁(10)上通过相配的升降螺母(8)垂直地设有一升降螺杆(9),该升降螺杆(9)能沿该导轨横梁(10)的导轨作水平移动,通过所述的升降螺母(8)调节所述升降螺杆(9)的高度,第一光强探测器(6)连接在所述的升降螺杆(9)的下端,该第一光强探测器(6)之前设有一凸透镜(7),所述的第一光强探测器(6)的探测面位于该凸透镜(7)的焦平面上;所述的凸透镜(7)置于待加工光学玻璃待测加工表面的正上方;一个激光光源(2)安装在第一光学调整架(1)上;由该激光光源(2)发出一激光光束通过待加工光学玻璃到达待加工光学玻璃加工的上表面的待测量点时,与上表面法线形成的角度大于或者等于该待加工光学玻璃的全反射角,在沿着全反射光线方向放置第二光强探测器(4);第二光强探测器(4)放置在第二光学调整架(5)上;所述的第一光强探测器(6)通过一A/D转换器连接一计算机(13);第二光强探测器(4)通过另一A/D转换器连接所述的计算机(13),一个监视器(12)同所述的计算机(13)相连。
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