主权项 |
1、一种用于光学抛光机的光学玻璃粗糙度的实时检测装置,包括一台抛光机(3)上面放置的待加工的光学玻璃,其特征在于包括:一个导轨横梁(10)平行于地面固定在一支架(11)上,该导轨横梁(10)上通过相配的升降螺母(8)垂直地设有一升降螺杆(9),该升降螺杆(9)能沿该导轨横梁(10)的导轨作水平移动,通过所述的升降螺母(8)调节所述升降螺杆(9)的高度,第一光强探测器(6)连接在所述的升降螺杆(9)的下端,该第一光强探测器(6)之前设有一凸透镜(7),所述的第一光强探测器(6)的探测面位于该凸透镜(7)的焦平面上;所述的凸透镜(7)置于待加工光学玻璃待测加工表面的正上方;一个激光光源(2)安装在第一光学调整架(1)上;由该激光光源(2)发出一激光光束通过待加工光学玻璃到达待加工光学玻璃加工的上表面的待测量点时,与上表面法线形成的角度大于或者等于该待加工光学玻璃的全反射角,在沿着全反射光线方向放置第二光强探测器(4);第二光强探测器(4)放置在第二光学调整架(5)上;所述的第一光强探测器(6)通过一A/D转换器连接一计算机(13);第二光强探测器(4)通过另一A/D转换器连接所述的计算机(13),一个监视器(12)同所述的计算机(13)相连。 |