发明名称 |
晶片级芯片尺寸封装方法 |
摘要 |
一种晶片级芯片尺寸封装方法,包括下列步骤:提供具有至少一个芯片的晶片,其中芯片上配置有焊盘,焊盘上包含第一焊料凸块;在基板上形成衬底层;在衬底层上形成与第一焊料凸块一一对应的第二焊料层;对齐第一焊料凸块和第二焊料层,并回流第二焊料层,形成与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块;移除基板,留下与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块;将晶片切割为至少一个芯片,完成晶片级芯片尺寸封装。经上述步骤,提高了封装的可靠性。 |
申请公布号 |
CN101290891A |
申请公布日期 |
2008.10.22 |
申请号 |
CN200710039567.X |
申请日期 |
2007.04.17 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
王津洲 |
分类号 |
H01L21/50(2006.01);H01L21/60(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/50(2006.01) |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
逯长明 |
主权项 |
1.一种晶片级芯片尺寸封装方法,其特征在于,包括下列步骤:提供具有至少一个芯片的晶片,其中芯片上配置有焊盘,焊盘上包含第一焊料凸块;在基板上形成衬底层;在衬底层上形成与第一焊料凸块一一对应的第二焊料层;对齐第一焊料凸块和第二焊料层,并回流第二焊料层,形成与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块;移除基板,留下与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块;将晶片切割为至少一个芯片,完成晶片级芯片尺寸封装。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江路18号 |