发明名称 晶片级芯片尺寸封装方法
摘要 一种晶片级芯片尺寸封装方法,包括下列步骤:提供具有至少一个芯片的晶片,其中芯片上配置有焊盘,焊盘上包含第一焊料凸块;在基板上形成衬底层;在衬底层上形成与第一焊料凸块一一对应的第二焊料层;对齐第一焊料凸块和第二焊料层,并回流第二焊料层,形成与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块;移除基板,留下与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块;将晶片切割为至少一个芯片,完成晶片级芯片尺寸封装。经上述步骤,提高了封装的可靠性。
申请公布号 CN101290891A 申请公布日期 2008.10.22
申请号 CN200710039567.X 申请日期 2007.04.17
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 王津洲
分类号 H01L21/50(2006.01);H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L21/50(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 逯长明
主权项 1.一种晶片级芯片尺寸封装方法,其特征在于,包括下列步骤:提供具有至少一个芯片的晶片,其中芯片上配置有焊盘,焊盘上包含第一焊料凸块;在基板上形成衬底层;在衬底层上形成与第一焊料凸块一一对应的第二焊料层;对齐第一焊料凸块和第二焊料层,并回流第二焊料层,形成与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块;移除基板,留下与第一焊料凸块固定的第二焊料凸块;将晶片切割为至少一个芯片,完成晶片级芯片尺寸封装。
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