发明名称 在块状衬底上集成平面型与非平面型CMOS晶体管的工艺及用此工艺制作的器件
摘要 一种能够将平面型(10)和非平面型(20、30)晶体管集成在块状半导体衬底上的工艺,其中,所有晶体管的沟道可在连续的宽度范围加以限定。
申请公布号 CN101292346A 申请公布日期 2008.10.22
申请号 CN200680035521.4 申请日期 2006.09.26
申请人 英特尔公司 发明人 J·卡瓦利罗斯;J·布拉斯克;B·多伊尔;U·沙;S·达塔;M·多奇;M·梅茨;R·仇
分类号 H01L21/8234(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L29/10(2006.01) 主分类号 H01L21/8234(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 曾祥夌;王忠忠
主权项 1.一种器件,包括:在块状半导体衬底上形成的平面型晶体管和非平面型晶体管。
地址 美国加利福尼亚州