| 发明名称 | 压电/电致伸缩元件的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明为了得到采用含有碱金属或碱土金属的物质作为压电/电致伸缩体的材料，并且电特性均匀而没有波动的压电/电致伸缩元件，提供一种压电/电致伸缩元件的制造方法，其特征为，在烧成压电/电致伸缩体的工序后，具有至少一次用酸性液体或纯水清洗含有压电/电致伸缩体的压电/电致伸缩元件的工序。 | ||
| 申请公布号 | CN101290966A | 申请公布日期 | 2008.10.22 |
| 申请号 | CN200710140250.5 | 申请日期 | 2007.08.07 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 大西孝生;谷信;和田敬;小泉贵昭 |
| 分类号 | H01L41/22(2006.01) | 主分类号 | H01L41/22(2006.01) |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 钟晶 |
| 主权项 | 1.压电/电致伸缩元件的制造方法，其特征在于，所述压电/电致伸缩元件具有层叠结构，包括含有碱金属或碱土金属的膜状压电/电致伸缩体和夹持该压电/电致伸缩体的一对膜状电极，该压电/电致伸缩元件的制造方法具有烧成所述压电/电致伸缩体的工序A1，以及用酸性液体或纯水清洗所述含有压电/电致伸缩体的所述压电/电致伸缩元件的工序B1，并且在所述工序A1后，进行至少一次所述工序B1。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||