| 发明名称 | 一种供给系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种供给系统，该供给系统包括原料盒，应用系统和电磁阀，应用系统控制电磁阀工作；该供给系统还包括控制模块；原料盒通过控制模块连接到应用系统；当原料盒中的原料即将用完时，控制模块会控制应用系统停止工作。所述供给系统还包括一个感应器，该感应器用于感应原料盒内原料的使用情况并发送相应信号给控制模块。应用系统包括一个根据控制模块发送的信号通断的电开关。当原料盒的原料还很充裕时，控制模块控制电开关闭合，同时电磁阀开始工作。当原料盒的原料即将用完的时候，控制模块控制电开关断开，电磁阀停止工作。本发明有效防止了原料盒中的原料用完而应用系统还在工作的情况，提高了晶圆的良率。 | ||
| 申请公布号 | CN101290864A | 申请公布日期 | 2008.10.22 |
| 申请号 | CN200710039784.9 | 申请日期 | 2007.04.20 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 刘兆虎;李祥福;方文勇 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/67(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1、一种供给系统，该供给系统包括原料盒，应用系统和电磁阀，应用系统控制电磁阀工作；其特征在于：该供给系统还包括控制模块；原料盒通过控制模块连接到应用系统；当原料盒中的原料即将用完时，控制模块会控制应用系统停止工作。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||