Assembly for separating particles from a plasma,申请号EP20070003217-传众专利搜索

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发明名称	Assembly for separating particles from a plasma
摘要
申请公布号	EP1826810(A3)	申请公布日期	2008.10.22
申请号	EP20070003217	申请日期	2007.02.15
申请人	FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.	发明人	MEYER, CARL-FRIEDRICH, DR. RER. NAT.
分类号	H01J37/32;C23C14/32	主分类号	H01J37/32
代理机构		代理人
主权项
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