| 发明名称 | 用于限制探针卡总成中的超程的方法 | ||
| 摘要 | 本发明揭示用于测试半导体器件的方法和装置。超程止挡件限制一待测器件相对于一探针卡总成的探针的超程。利用反馈控制技术来控制器件与探针卡总成的相对移动。一探针卡总成包括用于吸收待测器件相对于探针卡总成的过量超程的柔性基座。 | ||
| 申请公布号 | CN100424513C | 申请公布日期 | 2008.10.08 |
| 申请号 | CN200380109301.8 | 申请日期 | 2003.12.15 |
| 申请人 | 佛姆费克托公司 | 发明人 | 蒂莫西·E·科珀;本杰明·N·埃尔德里奇;卡尔·V·雷诺兹;拉温德拉·V·社诺伊 |
| 分类号 | G01R1/073(2006.01);G01R31/316(2006.01);G01R3/00(2006.01) | 主分类号 | G01R1/073(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王允方 |
| 主权项 | 1. 一种制作一探针卡总成的方法，所述方法包括：在一衬底的一表面上形成复数个探针；及在所述衬底的所述表面上形成一止挡结构；其中所述形成复数个探针及所述形成一止挡结构包括：在一牺牲衬底上以微影方式形成复数个尖结构和一止挡板；及将所述尖结构转移至复数个附装至所述衬底的所述表面的探针体；及将所述止挡板转移至一附装至所述衬底的所述表面的止挡支撑件。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||