发明名称 |
具有减小的栅极-源极/漏极电容的半导体晶体管 |
摘要 |
一种新颖半导体结构及形成该结构的方法。半导体结构包括(a)栅极层,(b)在栅极层上的栅极介质层,(c)在栅极介质层上的半导体层。半导体层通过栅极介质层与栅极层电绝缘。半导体层包括(i)与栅极介质层直接物理接触的第一和第二沟道区域,以及(ii)第一,第二和第三源极/漏极区域。第一沟道区域设置在第一和第二源极/漏极区域之间并与之直接物理接触。第二沟道区域设置在第二和第三源极/漏极区域之间并与之直接物理接触。第一,第二和第三源极/漏极区域在栅极层正上方。 |
申请公布号 |
CN100424889C |
申请公布日期 |
2008.10.08 |
申请号 |
CN200510115136.8 |
申请日期 |
2005.11.10 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
朱慧珑 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01);H01L21/336(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01) |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 |
代理人 |
于静;李峥 |
主权项 |
1. 一种半导体结构,包括:(a)栅极层;(b)在所述栅极层上的栅极介质层;(c)在所述栅极介质层上的半导体层;其中所述半导体层通过所述栅极介质层与所述栅极层电绝缘,其中所述半导体层包括(i)与所述栅极介质层直接物理接触的第一和第二沟道区域,(ii)第一和第二晕圈区域,以及(iii)第一,第二和第三源极/漏极区域,其中所述第一晕圈区域与所述第一源极/漏极区域直接物理接触,并且所述第二晕圈区域与所述第二源极/漏极区域直接物理接触,其中所述第一沟道区域设置在所述第一和第二源极/漏极区域之间并与之直接物理接触,以及其中所述第二沟道区域设置在所述第二和第三源极/漏极区域之间并与之直接物理接触。 |
地址 |
美国纽约 |