发明名称 具有减小的栅极-源极/漏极电容的半导体晶体管
摘要 一种新颖半导体结构及形成该结构的方法。半导体结构包括(a)栅极层,(b)在栅极层上的栅极介质层,(c)在栅极介质层上的半导体层。半导体层通过栅极介质层与栅极层电绝缘。半导体层包括(i)与栅极介质层直接物理接触的第一和第二沟道区域,以及(ii)第一,第二和第三源极/漏极区域。第一沟道区域设置在第一和第二源极/漏极区域之间并与之直接物理接触。第二沟道区域设置在第二和第三源极/漏极区域之间并与之直接物理接触。第一,第二和第三源极/漏极区域在栅极层正上方。
申请公布号 CN100424889C 申请公布日期 2008.10.08
申请号 CN200510115136.8 申请日期 2005.11.10
申请人 国际商业机器公司 发明人 朱慧珑
分类号 H01L29/78(2006.01);H01L21/336(2006.01) 主分类号 H01L29/78(2006.01)
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 于静;李峥
主权项 1. 一种半导体结构,包括:(a)栅极层;(b)在所述栅极层上的栅极介质层;(c)在所述栅极介质层上的半导体层;其中所述半导体层通过所述栅极介质层与所述栅极层电绝缘,其中所述半导体层包括(i)与所述栅极介质层直接物理接触的第一和第二沟道区域,(ii)第一和第二晕圈区域,以及(iii)第一,第二和第三源极/漏极区域,其中所述第一晕圈区域与所述第一源极/漏极区域直接物理接触,并且所述第二晕圈区域与所述第二源极/漏极区域直接物理接触,其中所述第一沟道区域设置在所述第一和第二源极/漏极区域之间并与之直接物理接触,以及其中所述第二沟道区域设置在所述第二和第三源极/漏极区域之间并与之直接物理接触。
地址 美国纽约