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发明名称
Polishing apparatus having interlock function
摘要
申请公布号
EP1704962(B1)
申请公布日期
2008.10.08
申请号
EP20060013931
申请日期
1997.05.28
申请人
EBARA CORPORATION
发明人
WATANABE, KATSUHIDE
分类号
B24B1/00;B24B37/04;B24B49/16;G05B19/4063;G05B19/416
主分类号
B24B1/00
代理机构
代理人
主权项
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