| 发明名称 |
Coating apparatus and method for operating a coating apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1775353(B1) |
申请公布日期 |
2008.10.08 |
| 申请号 |
EP20050020153 |
申请日期 |
2005.09.15 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG |
发明人 |
HEIMEL, OLIVER |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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