加工装置

摘要

提供一种加工装置，不需要用于配置照明机构的大的空间，而具备能够确实地识别晶片整体轮廓的轮廓识别机能。被加工物被支承在被安装于部具有开口的环状的支承框架上的透明或半透明的保护带的表面的被加工物组合体，加工该被加工物组合体的被加工物的加工装置，其中具有：带状的发光机构，被配设在载置收容了被加工物组合体的盒的盒载置台和临时放置台之间，具有大于等于该支承框架的开口的与该搬出机构的搬出方向成直角的方向的最大长度的长度、和比该最大长度短的宽度；摄像机构，与带状的发光机构相对置被配设，拍摄被置于其与该带状的发光机构之间的该被加工物组合体的被加工物的轮廓；轮廓识别机构，根据被该摄像机构拍摄的图像信息识别被加工物整体的轮廓。

主权项

1. 一种加工装置，具备：卡盘台，保持被加工物通过透明或半透明的保护带被支承的被加工物组合体，该保护带被安装于中央部具有开口的环状的支承框架上；加工机构，加工被保持在该卡盘台上的被加工物组合体的被加工物；盒载置台，载置收容了该被加工物组合体的盒；搬出机构，搬出被载置在该盒载置台上的盒中所收容的被加工物组合体；临时放置台，临时放置被该搬出机构搬出的被加工物组合体；以及搬送机构，将被搬出至该临时放置台上的被加工物组合体搬送至该卡盘台；其特征在于具备：带状的发光机构，被配设在该盒载置台和该临时放置台之间，具有大于等于该支承框架的开口的与该搬出机构的搬出方向成直角的方向的最大长度的长度、和比该最大长度短的宽度；摄像机构，与该带状的发光机构相对置被配设，拍摄被置于其与该带状的发光机构之间的该被加工物组合体的被加工物的轮廓；以及轮廓识别机构，根据被该摄像机构拍摄的图像信息识别被加工物整体的轮廓。