发明名称 Rohrofen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 DE1269293(B) 申请公布日期 1968.05.30
申请号 DE19651269293 申请日期 1965.12.22
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 DOERBECK DIPL.-PHYS. FRIEDRICH-HELMUT
分类号 F27D11/02;H05B3/62 主分类号 F27D11/02
代理机构 代理人
主权项
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